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半导体自动化EAP系统

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    EAP系统控制半导体设备进行自动化生产,与MES系统整合,校验产品信息,自动做账,同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据,帮助提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提供产品良率。

系统组成包含设备通讯模块、MES通讯模块、系统流程控制模块等。

EAPwell 系统可通过半导体标准SECS/GEM协议,利用自有的SECS Driver对制造和量测设备进行自动化控制,极大杜绝手工作业带来人为错误,提高设备效能和产品良率 。

EAPwell系统功能点

与MES系统整合,自动校验产品生产信息和Recipe,自动做账(Track In/Track Out)。

与设备控制系统整合,Load/Unload Cassette, 选择Recipe,控制设备自动进行生产,同时跟踪产品整个的生产过程。

支持与RMS、APC系统整合,校验Recipe参数和微调Recipe参数。

支持与FDC系统整合,实时采集生产过程中的制程数据和设备参数数据。

实时采集设备状态数据和警报信息。

通过嵌入EAP Daemon或设备改造,支持非标半导体设备接入EAP系统从而达到自动化生产。

提供EAP Monitor工具监控、维护EAP系统。

EAP平台介绍

EAP平台框架封装了和设备之间的通讯,预先支持SECS、PLC、OPC等通讯协议,以及和上层系统MES、APC、FDC等之间的通讯,支持RV、MQ,WCF,Web Service等消息中间件。

提供大多数数据库平台支持,日志管理,Workflow机制,以及软件自动升级,Loading Balance和Failover的功能,方便客户在其丰富功能的基础上专注于业务逻辑的开发,提高开发效率,节省上线时间。

而且平台还提供方便的日志分析、软件部署、软件升级等功能,方便维护人员后续对系统进行维护。在其基础之上,Glorysoft开发了EAPwell、BCwell、APCwell,MCSwell等软件产品。

EAPwell 特点

1、服务器模式

EAP Server以服务器模式运行,控制设备自动化跑货

Backup Server和Failover机制保证EAP Server不Down机

升级和部署不需要重启EAP Server

2、EAP Monitor

Monitor工具可实时监控EAP Server运行状态

Monitor工具可实时更新EAP逻辑而不需要重启,无需要Down机时间

Monitor工具可方便系统维护 Monitor工具可方便查找系统问题

3、开发工具

易用的开发工具方便系统开发

Workflow机制保证系统的扩展性

 
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